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FTIR监测金刚石薄膜生长的研究
金刚石薄膜 电子回旋共振系统 傅里叶红外吸收光谱仪 X射线衍射仪
2009/5/8
用电子回旋共振等离子体（ECR）系统, 在气压、衬底温度以及微波功率等外界条件不变的情况下，仅改变甲烷浓度制备金刚石薄膜，利用傅里叶红外吸收光谱仪（FTIR）对甲烷浓度为6％的ECR系 统进行实时监测，分析研究了不同沉积时间条件下，甲烷和氢气产生的等离子体对薄膜早期成核、生长过程以及衬底的影响，并结合Raman光谱X射线衍射（XRD）和扫描电镜（SEM）对金刚石薄膜进行 了分析。