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碳纳米管/硅范德华异质结因可室温制备、工艺简便、成本低等特点已被用于太阳能电池和光电探测器等研究中。在该异质结器件中，碳纳米管薄膜扮演p型功能层和透明电极的角色，因此，调控薄膜的功函数和透明导电性能对器件的光伏性能提升至关重要。半导体硅表面的缺陷很容易成为界面光生电荷的复合点，而钝化层的制备可以有效提高电子-空穴对的分离效率；常用的钝化层有a-Si:H、AlOx、SiOx等，但一般需要高真空设备且...