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中国科学院合肥物质准分子激光诱导损伤氟化钙晶体研究取得进展（图）
分子激光 氟化钙晶体 半导体光刻
2023/7/24
2022年2月28日，中科院合肥研究院安光所激光中心准分子激光团队在氟化钙(CaF2)晶体的准分子激光诱导损伤方面取得新进展，相关结果发表在Applied Surface Science等期刊。CaF2晶体是紫外光学系统中的重要元件，尤其在半导体光刻系统中，CaF2晶体直接影响了系统的稳定性和寿命，因此研究CaF2晶体的抗激光损伤能力在半导体光刻、光电对抗等应用领域具有重要意义。鉴于此，团队梁勖研...