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离子镀TiN涂层的高温氧化特性     TiN膜  氧化  离子镀       2010/3/25
研究了离子镀TiN涂层在500~700 ℃间的高温氧化特性,并利用SEM观察和XRD相分析研究了氧化产物的类型及膜失效机制。结果表明,TiN膜的氧化遵循抛物线扩散规律,其氧化产物为金红石型TiO2。与M2和3Cr2W8V相比,TiN膜具有优良的抗氧化性能。以M2为基体的TiN涂层抗氧化性能略高于以3Cr2W8V为基体的TiN涂层。
本文探讨了利用微波加热技术碳热还原TiO_2合成TiN工艺的可行性及其机理,并对碳热还原反应热力学进行了分析.实验结果表明,微波碳热还原法合成TiN具有其独特性和优越性.与常规法相比,它不仅能降低合成温度,缩短合成周期,还能细化晶粒,提高粉料活性.
Undoped and Ge-doped ITO films (ITO: Ge) deposited at low temperature (70℃) have been studied. Although both samples have the same carrier concentration, a higher carrier mobility occurs for ITO: Ge. ...
The different electronic behaviors of pure and tin-doped indium oxides with various thermal treatments under high and low oxygen pressure are discussed on the basis of the evolution of the band energy...
用金属有机物化学气相淀积(Metal Organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD) 制备了TiN薄膜, 通过不同循环制备的、厚度相同的平面薄膜电阻率的比较研究了TiN薄膜的电学性质. 结果表明, 多次循环会引入界面而增大电阻率, 与薄膜成分和微结构分析的结果一致. 得到了单循环的最优厚度以使样品电阻率最低. 通过相同循环、不同厚度样品在真实器件中电学性能的比较...

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