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薄膜材料微加工是微纳技术、微机电系统、光电子领域的核心技术。文章提出了针对薄膜加工时缺乏有效的质量控制手段，应用激光诱导等离子体(LIBS)技术进行过程表征的方法。研究了脉冲激光微加工过程中等离子体量与激发条件的关系。得出了在低频(＜20 Hz)和在确定能量水平条件下, 等离子体量相对稳定，不依赖于脉冲次数。在单脉冲条件下，激发等离子体量随着能量的升高而增加。根据等离子体量和元素类别可实现对微加工...
