搜索结果: 1-5 共查到“工程与技术科学基础学科 ZnO”相关记录5条 . 查询时间(0.062 秒)
中国科学院国家纳米科学中心专利:一种ZnO薄膜晶体管的修饰及制备方法
中国科学院国家纳米科学中心 专利 ZnO 薄膜晶体管 修饰 制备方法
2023/6/25
![](http://www.firstlight.cn/upload/imgfile/20231/7/20231722126844.png)
利用化学气相沉积法(chemical vapor deposition, CVD), 以Zn4(OH)2(O2CCH3)6·2H2O为固相源、ZnNO3为掺杂源制备出p型ZnO:N薄膜, 采用XRD, 霍耳效应和PL谱对薄膜进行分析, 研究了衬底温度对膜结构、电学性质和光致发光特性的影响. 结果表明, 生长温度较低时, 薄膜呈p型导电特性且电阻率随衬底温度的升高而下降, 衬底温度为400℃时, 载...