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PLD法制备半球面均匀DLC膜的装置、仿真与实验
均匀膜层 脉冲激光沉积 类金刚石膜 大口径半球面衬底
2016/9/5
由于激光烧蚀靶材形成的等离子体羽辉呈高斯分布,导致沉积的大面积薄膜尤其是球面衬底上的薄膜极不均匀,严重限制了脉冲激光沉积法的应用。设计构建了旋转与变速摆动相结合的三维衬底机构,实现对半球面不同区域的连续沉积,保证了膜层的均匀性;建立膜厚分布的数学模型,模拟分析了运动参数对膜厚分布的影响;首次利用脉冲激光沉积技术制备出口径200 mm大尺寸半球面衬底上的均匀类金刚石膜,顶角80°范围内膜厚不均匀性≤...
基于PLD法制备的MgZnO薄膜紫外传感器的研究
紫外探测器 MgZnO薄膜 脉冲激光沉积
2014/4/30
用KrF准分子脉冲激光沉积（PLD）法，以石英为衬底，在300-600℃温度下沉积MgZnO薄膜。由拉曼光谱仪、AFM、UV/vis分光光度计对薄膜进行表征，结果表明，在600℃制备薄膜有最大的禁带宽度3.78eV，以及最好的结晶质量。在此薄膜上镀上Al电极制备了紫外传感器，测量了传感器的的I-V曲线、光谱响应特性，以及在365nm紫外光辐照下的时间响应特性。传感器波长响应峰值在约320nm；上升...
利用GCR-170型脉冲激光器 Nd：YAG的三次谐波（355nm），以蓝宝石Al2O3 (0001)为衬底，在不同温度下采用脉冲激光沉积法(PLD)制备了ZnO薄膜。通过原子力显微镜（AFM）、Raman谱、光致发光（PL）谱、红外透射谱、霍尔效应和表面粗糙度分析仪对制备的ZnO薄膜进行了测试。分析了在不同衬底温度下薄膜的表面形貌、光学特性，同时进行了薄膜结构和厚度的测试。研究表明：衬底温度对Z...