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阴极弧电流对TiN及（TiTa）N薄膜结构和性能影响..
2007/7/28
期刊信息
篇名
阴极弧电流对TiN及（TiTa）N薄膜结构和性能影响..
语种
中文
撰写或编译
作者
刘燕燕,白晓,林国强.
第一作者单位
刊物名称
大连理工大学学报
页面
2002年11月，第42卷第6期P644~648
出版日期
2002年
11月
日
文章标识(ISSN)
相关项目
电孤离子镀（Ti,M〕N硬质薄膜与硬质梯度薄膜研究