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基于XML的MEMS设计过程描述语言
MEMS XML MEMS设计过程描述语言
2009/4/17
在分析和细化MEMS多种器件设计流程的基础上，建立了通用的MEMS Top-Down设计过程模型。参考工作流过程定义语言XPDL，并对其进行了扩展和修改，充分考虑微机械系统设计过程的特点，提出了一种基于XML的MEMS设计过程描述语言(MDPDL)，介绍了其设计和实现的基本思想，用实例验证了该语言的有效性。