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本文阐述了一种4H-SiC肖特基结式Alpha效应微型核电池。利用Schottky结取代常用的p-n结，在活度为0.025mCi/cm2的241Am源辐照下进行测试，得到了开路电压VOC为0.25V、短路电流密度JSC为7.64nA/cm2和输出功率密度Pmax为1.12nW/cm2。在对4H-SiC肖特基结研制过程中的一些关键工艺进行研究之后，采用XRD法对欧姆接触成分进行了分析，结果表明形成了...
