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“
凝聚态物理学 Hf0.5Zr0.5O2
”
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厘米级自支撑Hf0.5Zr0.5O2纳米薄膜制备及铁电物理研究(图)
厘米级
自支撑
Hf0.5Zr0.5O2
纳米薄膜
铁电物理
2023/1/6
由于具有纳米尺度稳定的铁电性和良好的CMOS兼容性,铪基铁电薄膜有望直接集成到当前的CMOS芯片中构建微纳电子器件,解决传统钙钛矿铁电薄膜在电子器件应用上的难题。因此,新型的铪基铁电材料不仅受到学术界的强烈关注,而且备受产业界(英特尔、三星、格罗方德、华为等)的青睐,被认为是解决后摩尔时代电子器件诸多瓶颈问题的关键材料之一。
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