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高飞，教授/博士生导师，物理学院副院长，三束材料改性教育部重点实验室副主任，大连理工大学星海人才培育计划“星海优青”入选者，射频等离子体模拟和实验团队（大连理工大学科技创新团队）的核心骨干成员，曾获大连市科学技术奖一等奖。主要从事射频等离子体物理过程及与材料相互作用的研究。工作面向IC装备制造产业，采用实验诊断和数值仿真模拟的方法研究射频感应耦合等离子体刻蚀机、PECVD装备中的等离子体工艺腔室的...

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