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河北省激光研究所等离子室
河北省激光研究所等离子室 低温等离子体 CVD金刚石膜技术 863计划 砂轮修整器坯料 CVD金刚石拉丝模芯
2008/1/17
河北省激光研究所等离子室成立于1992年,主要从事低温等离子体和CVD金刚石膜技术的研究与开发,先后承担了国家863计划“八五”、“九五”、“十五”期间项目“金刚石膜制备关键设备研制”及“大面积高光学质量金刚石膜的制备、加工及应用”等课题,此外还承担了多项河北省重大攻关项目和河北省自然基金项目。