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近年来,随着传统硅基芯片制程不断缩小且集成度不断提高,短沟道效应和热效应日趋显著,现有电子器件的运行速度和性能已接近硅基材料极限,对新型材料及器件的探索与研究显得尤为关键。二维材料具有超快响应速度、高电子迁移率等优异的物理特性和完备的电学功能;同时,由于其天然具备原子层极限厚度和平面结构,与当代微纳加工工艺相兼容,有望推动新一代量子材料技术应用的变革。与硅基芯片依赖于晶圆级单晶硅锭制备相似,实现二...