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近日，东南大学电子科学与工程学院孙立涛教授团队基于自主搭建的原位电子显微学系统，实时观察了纳米气泡可加速(~20倍)湿法刻蚀的全过程，首次从原子尺度揭示了刻蚀过程中完整的固-液-气三相反应机制，为发展高效、高精度制造工艺与方法提供了新的实现手段和制造原理。其研究成果以“Solid-liquid-gas reaction accelerated by gas molecule tunneling-l...