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合肥工业大学微电子学院电磁场与微波技术方向研究领域面向学科前沿、产业应用和国防需求,以形成从信息材料、工艺、器件、电路到系统的完善科研体系为建设目标。承担的科研任务来自国家科技部、国家自然科学基金委、发展装备部等部委和地方企事业单位。近五年来,依托微电子学院,在“微电子学”和“微波技术”交叉研究领域逐渐形成研究特色。学院为该学科方向配备有万级超净间,常见的主要微电子工艺设备和半导体特性表征设备,建...
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