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氢钝化对硅纳米晶发光强度的影响超晶格硅纳米晶氢钝化 2009/4/29

通过热蒸发方法在单晶硅衬底上沉积了SiO/SiO2超晶格样品，在氮气保护下对样品进行高温退火，得到硅纳米晶/SiO2超晶格结构。随后将该结构样品分别注入3.0×1014和3.0×1015 cm-2两种剂量的H+。通过对样品的光致发光光谱的分析发现，H+注入后未经过二次退火的样品发光强度急剧下降；二次退火后的样品，随着退火温度的升高，发光强度逐渐增强；注入足够剂量的H+,其发光强度可以远远超过未注入...